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硅外延层错退火的研究

蔡田海

半导体学报Issue(5)：492,1.
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半导体学报Issue(5)：492,1.

硅外延层错退火的研究

蔡田海1

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蔡田海..硅外延层错退火的研究[J].半导体学报,1983,(5):492,1.

半导体学报

1674-4926

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