红外技术2002，Vol.24Issue(4)：49-52,4.
射频磁控溅射GaP薄膜的光学性能
Optical Properties of Gap Film Prepared by RF Magnetron Sputtering
摘要
关键词
GaP薄膜/射频磁控溅射/红外增透保护膜系/ZnS衬底分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
郭大刚,刘正堂,宋健全,耿东生..射频磁控溅射GaP薄膜的光学性能[J].红外技术,2002,24(4):49-52,4.基金项目
航空科学基金(98G53104)和国防基础科研计划(J1500E002)资助项目 （98G53104）
