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ZnO薄膜的椭偏和DLTS特性

刘磁辉 苏剑锋 张伟英 田珂 傅竹西

发光学报2008,Vol.29Issue(3):495-498,4.
发光学报2008,Vol.29Issue(3):495-498,4.

ZnO薄膜的椭偏和DLTS特性

The Investigation of Ellipsometry and DLTS Characteristic for the ZnO Films

刘磁辉 1苏剑锋 1张伟英 1田珂 1傅竹西1

作者信息

  • 1. 中国科学技术大学,物理系,安徽,合肥,230026
  • 折叠

摘要

关键词

氧化锌/热退火/深能级/光电特性

分类

数理科学

引用本文复制引用

刘磁辉,苏剑锋,张伟英,田珂,傅竹西..ZnO薄膜的椭偏和DLTS特性[J].发光学报,2008,29(3):495-498,4.

基金项目

国家自然科学基金(50472009,10474091,50532070) (50472009,10474091,50532070)

中科院知识创新方向性课题(KJCX2-SW-04-02,KJCX3.5YW.W01)资助项目 (KJCX2-SW-04-02,KJCX3.5YW.W01)

发光学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-7032

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