吉林大学学报（理学版）2003，Vol.41Issue(4)：497-500,4.
高功率准分子激光沉积类金刚石膜的热稳定性
Thermal Stability of Diamond-like Films Deposited by High Power Excime Laser
金哲 1李俊杰 1盖同祥 1林景波 1李哲奎 1张寿 1彭鸿雁 2金曾孙2
作者信息
- 1. 延边大学理工学院,延吉,133002
- 2. 吉林大学超硬材料国家重点实验室,长春,130012
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摘要
关键词
准分子激光沉积/类金刚石膜/热稳定性/退火温度分类
数理科学引用本文复制引用
金哲,李俊杰,盖同祥,林景波,李哲奎,张寿,彭鸿雁,金曾孙..高功率准分子激光沉积类金刚石膜的热稳定性[J].吉林大学学报（理学版）,2003,41(4):497-500,4.
