电子科技大学学报2002，Vol.31Issue(5)：497-501,5.
电容式微机械加速度计系统动态特性研究
Research on Dynamic Behavior of Micromachined Capacitive Accelerometer
摘要
关键词
微机械加速度计/闭环模型/动态特性/补偿方法/系统响应分类
航空航天引用本文复制引用
陈宇晓,文贵印,刘昌孝..电容式微机械加速度计系统动态特性研究[J].电子科技大学学报,2002,31(5):497-501,5.基金项目
国家"九五"重点科研基金资助项目 （）
