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一种新的MEMS系统噪声建模方法

张霞 郑旭东 郑阳明 罗斯建 王跃林 金仲和

传感技术学报2008,Vol.21Issue(3):498-500,3.
传感技术学报2008,Vol.21Issue(3):498-500,3.

一种新的MEMS系统噪声建模方法

A New Modeling Method of MEMS System's Noise

张霞 1郑旭东 1郑阳明 1罗斯建 1王跃林 1金仲和1

作者信息

  • 1. 浙江大学信息与电子工程系,杭州,310027
  • 折叠

摘要

关键词

MEMS陀螺/噪声/建模/AD630

分类

机械制造

引用本文复制引用

张霞,郑旭东,郑阳明,罗斯建,王跃林,金仲和..一种新的MEMS系统噪声建模方法[J].传感技术学报,2008,21(3):498-500,3.

基金项目

国家重点基础研究发展计划资助(973计划)(2006CB300405) (973计划)

传感技术学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-1699

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