半导体学报2005，Vol.26Issue(3)：498-501,4.
退火温度对ZnO薄膜结构和发光性能的影响
Influence of Annealing Temperature on Structural and Optical Properties of ZnO Thin Films
摘要
关键词
金属有机物化学气相沉积/氧化锌/X射线双晶衍射/光致发光谱分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
温战华,王立,方文卿,蒲勇,罗小平,郑畅达,戴江南,江风益..退火温度对ZnO薄膜结构和发光性能的影响[J].半导体学报,2005,26(3):498-501,4.基金项目
国家高技术研究发展计划资助项目(批准号:2003AA302160) （批准号:2003AA302160）
