传感技术学报2005，Vol.18Issue(3)：500-503,4.
一种新结构硅微机械压阻加速度计
A New Structure Silicon Piezoresistive Micromachined Accelerometer
陈雪萌 1李昕欣 1宋朝晖 1王跃林 1黄晖 1黄树森 1张鲲1
作者信息
- 1. 中国科学院,上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200050
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摘要
关键词
微机械/加速度计/压阻/深反应离子刻蚀分类
机械制造引用本文复制引用
陈雪萌,李昕欣,宋朝晖,王跃林,黄晖,黄树森,张鲲..一种新结构硅微机械压阻加速度计[J].传感技术学报,2005,18(3):500-503,4.
