物理学报2009，Vol.58Issue(7)：5007-5012,6.
择优取向MgO在Si衬底上的直流溅射制备及其性能表征
Fabrication and properties of (100) oriented MgO by DC sputtering on Si substrate
摘要
关键词
MgO薄膜/择优取向/直流溅射/折射率拟合分类
化学化工引用本文复制引用
傅兴海,尹伊,张磊,叶辉..择优取向MgO在Si衬底上的直流溅射制备及其性能表征[J].物理学报,2009,58(7):5007-5012,6.基金项目
国家自然科学基金 (批准号:60578012)和浙江省自然科学基金(批准号:X405002)资助的课题. （批准号:60578012）
