西安电子科技大学学报（自然科学版）2005，Vol.32Issue(4)：504-507,517,5.
基于Fuzzy-PID的MOCVD温度控制方法
Research on MOCVD temperature control based on Fuzzy-PID
摘要
关键词
MOCVD/温度控制/模糊PID控制分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
过润秋,解宝辉..基于Fuzzy-PID的MOCVD温度控制方法[J].西安电子科技大学学报（自然科学版）,2005,32(4):504-507,517,5.基金项目
陕西省自然科学基金资助项目(2002F13) （2002F13）
陕西省科学技术研究发展计划资助项目(2004K05-G1) （2004K05-G1）
