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GaAs表面钝化的新方法:S2Cl2 处理

李喆深 蔡卫中 苏润洲 侯晓远 董国胜 金晓峰 丁训民 王迅

半导体学报Issue(7):505,1.
半导体学报Issue(7):505,1.

GaAs表面钝化的新方法:S2Cl2 处理

李喆深 1蔡卫中 1苏润洲 1侯晓远 1董国胜 1金晓峰 1丁训民 1王迅1

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李喆深,蔡卫中,苏润洲,侯晓远,董国胜,金晓峰,丁训民,王迅..GaAs表面钝化的新方法:S2Cl2 处理[J].半导体学报,1994,(7):505,1.

半导体学报

OA北大核心CSCD

1674-4926

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