陕西科技大学学报（自然科学版）2006，Vol.24Issue(2)：50-53,4.
Ga2O3氮化法合成GaN薄膜的研究
SYNTHESIS OF GaN FILM BY NITRIDING PROCESSING OF Ga2O3
殷立雄 1王芬 1杨茂举 1黄艳1
作者信息
- 1. 陕西科技大学材料科学与工程学院,陕西,咸阳,712081
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摘要
关键词
GaN薄膜/Ga2O3/氨气/管式炉分类
通用工业技术引用本文复制引用
殷立雄,王芬,杨茂举,黄艳..Ga2O3氮化法合成GaN薄膜的研究[J].陕西科技大学学报（自然科学版）,2006,24(2):50-53,4.
