真空电子技术Issue(4):50-53,68,5.
低介电损耗AlN陶瓷及BN-AlN基陶瓷材料研究
Preparation of Low Loss Tangent AlN Ceramics and BN-AlN Composites
张巨先1
作者信息
- 1. 北京真空电子技术研究所,北京,100016
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摘要
关键词
AlN陶瓷/BN-AlN基复相陶瓷/低介电损耗/化学工艺分类
化学化工引用本文复制引用
张巨先..低介电损耗AlN陶瓷及BN-AlN基陶瓷材料研究[J].真空电子技术,2009,(4):50-53,68,5.