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低介电损耗AlN陶瓷及BN-AlN基陶瓷材料研究

张巨先

真空电子技术Issue(4):50-53,68,5.
真空电子技术Issue(4):50-53,68,5.

低介电损耗AlN陶瓷及BN-AlN基陶瓷材料研究

Preparation of Low Loss Tangent AlN Ceramics and BN-AlN Composites

张巨先1

作者信息

  • 1. 北京真空电子技术研究所,北京,100016
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摘要

关键词

AlN陶瓷/BN-AlN基复相陶瓷/低介电损耗/化学工艺

分类

化学化工

引用本文复制引用

张巨先..低介电损耗AlN陶瓷及BN-AlN基陶瓷材料研究[J].真空电子技术,2009,(4):50-53,68,5.

真空电子技术

OACSTPCD

1002-8935

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