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微氮硅单晶中新施主的形成特性

杨德仁 樊瑞新 李立本 阙端麟

半导体学报Issue(7)：506,1.
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半导体学报Issue(7)：506,1.

微氮硅单晶中新施主的形成特性

杨德仁 1樊瑞新 1李立本 2阙端麟2

作者信息

  • 1. 浙江大学硅材料科学国家重点实验室
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摘要

关键词

微氮硅单晶/施主/硅单晶

分类

信息技术与安全科学

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杨德仁,樊瑞新,李立本,阙端麟..微氮硅单晶中新施主的形成特性[J].半导体学报,1996,(7):506,1.

半导体学报

OA北大核心CSCD

1674-4926

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