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微氮硅单晶中的热受主

杨德仁 吕军 李立本 姚鸿年 阙端麟

半导体学报Issue(8):509,1.
半导体学报Issue(8):509,1.

微氮硅单晶中的热受主

杨德仁 1吕军 1李立本 1姚鸿年 1阙端麟1

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摘要

关键词

氮硅单晶/硅单晶/热受生

分类

信息技术与安全科学

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杨德仁,吕军,李立本,姚鸿年,阙端麟..微氮硅单晶中的热受主[J].半导体学报,1991,(8):509,1.

半导体学报

OACSCD

1674-4926

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