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半导体学报
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PMMA的离子束曝光特性
PMMA的离子束曝光特性
王宇钢
赵渭江
郑桂洲
高玉芝
半导体学报
Issue(7)：509,1.
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半导体学报
Issue(7)
：509,1.
PMMA的离子束曝光特性
王宇钢
1
赵渭江
1
郑桂洲
1
高玉芝
1
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摘要
关键词
离子束
/
曝光
/
抗蚀剂
/
灵敏度
/
PMMA
分类
信息技术与安全科学
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王宇钢,赵渭江,郑桂洲,高玉芝..PMMA的离子束曝光特性[J].半导体学报,1989,(7):509,1.
半导体学报
OA
CSCD
ISSN：
1674-4926
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