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微通道板及其真空处理工艺研究

赵文锦

真空电子技术Issue(2)：51,1.
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真空电子技术Issue(2)：51,1.

微通道板及其真空处理工艺研究

赵文锦1

作者信息

  • 1. 南京电子器件研究所
  • 折叠

摘要

关键词

微通道板/热烘烤/光电器件/MCP/真空处理工艺

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

赵文锦..微通道板及其真空处理工艺研究[J].真空电子技术,1999,(2):51,1.

真空电子技术

1002-8935

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