本文主要报道ＩｎＰ光波导和ＩｎＧａＡｓ－ＰＩＮ光电探测器的单片集成，包括材料生长、器件工艺、器件测试三个部分。
作者：杨易;陈兴国;程宗权;王惠民;吕章德;蒋惠英;王晨;施惠英;吴学海;朱祖华;胡征
作者单位：
分类：电子信息工程
中文关键词：磷化铟光波导光电探测器单片集成
刊名：《半导体学报》 1996 (1)
页码/页数：51,1
评论