电子器件2004，Vol.27Issue(1)：5-10,6.
两种薄层电阻测试系统探针游移误差的对比分析
The Contrasting and Analyzing of Probe Movement Error about Two Kinds of Measurement System of Sheet Resistance
摘要
关键词
方形四探针/直线四探/,薄层电阻/探针游移分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
刘新福,孙以材,刘东升..两种薄层电阻测试系统探针游移误差的对比分析[J].电子器件,2004,27(1):5-10,6.基金项目
国家自然科学基金资助课题(批准号 69272001) （批准号 69272001）
河北省自然科学基金项目(批准号 602076) （批准号 602076）
天津市自然科学基金项目(批准号 013602011). （批准号 013602011）
