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退火对电子束热蒸发Al2O3薄膜性能影响的实验研究

尚淑珍 廖春艳 易葵 张东平 范正修 邵建达

强激光与粒子束2005，Vol.17Issue(4)：511-514,4.
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强激光与粒子束2005，Vol.17Issue(4)：511-514,4.

退火对电子束热蒸发Al2O3薄膜性能影响的实验研究

Experimental study of annealing effects on electron-beam evaporated Al2O3 films

尚淑珍 1廖春艳 1易葵 1张东平 1范正修 1邵建达1

作者信息

  • 1. 中国科学院,上海光学精密机械研究所,光学薄膜技术与研究发展中心,上海,201800
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摘要

关键词

紫外/退火/微结构/光学损耗/吸收

分类

数理科学

引用本文复制引用

尚淑珍,廖春艳,易葵,张东平,范正修,邵建达..退火对电子束热蒸发Al2O3薄膜性能影响的实验研究[J].强激光与粒子束,2005,17(4):511-514,4.

基金项目

上海市科委光科技专项资助课题(022261051) （022261051）

强激光与粒子束

OA北大核心CSCD

1001-4322

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