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负偏压热灯丝CVD金刚石膜核化和早期生长的研究

廖克俊 王万录 冯斌

ACTA PHYSICA SINICAIssue(3)：514-519,6.
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ACTA PHYSICA SINICAIssue(3)：514-519,6.

负偏压热灯丝CVD金刚石膜核化和早期生长的研究

廖克俊 1王万录 1冯斌2

作者信息

  • 1. 重庆大学应用物理系
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摘要

关键词

CVD/金刚石/薄膜/核化/硅衬底/核化/早期生长

分类

信息技术与安全科学

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廖克俊,王万录,冯斌..负偏压热灯丝CVD金刚石膜核化和早期生长的研究[J].ACTA PHYSICA SINICA,1998,(3):514-519,6.

ACTA PHYSICA SINICA

OA北大核心CSCD

1000-3290

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