武汉工程大学学报2009，Vol.31Issue(5)：51-53,3.
微波ECR氧等离子体参数测量
Measurement of microwave ECR oxygen plasma parameter
摘要
关键词
ECR等离子体/朗谬尔双探针/电子温度/等离子体密度分类
数理科学引用本文复制引用
谭必松,马志斌,吴振辉..微波ECR氧等离子体参数测量[J].武汉工程大学学报,2009,31(5):51-53,3.基金项目
国家自然科学基金(10875093) （10875093）
