物理学报2006,Vol.55Issue(10):5157-5160,4.
斜角入射沉积法制备渐变折射率薄膜的折射率分析
Refractive index analysis of graded index coatings prepared by glancing angle deposition
沈自才 1孔伟金 2刘世杰 1沈建 2邵建达 1范正修2
作者信息
- 1. 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800
- 2. 中国科学院研究生院,北京,100039
- 折叠
摘要
关键词
斜角入射沉积/渐变折射率/填充系数分类
数理科学引用本文复制引用
沈自才,孔伟金,刘世杰,沈建,邵建达,范正修..斜角入射沉积法制备渐变折射率薄膜的折射率分析[J].物理学报,2006,55(10):5157-5160,4.