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斜角入射沉积法制备渐变折射率薄膜的折射率分析

沈自才 孔伟金 刘世杰 沈建 邵建达 范正修

物理学报2006,Vol.55Issue(10):5157-5160,4.
物理学报2006,Vol.55Issue(10):5157-5160,4.

斜角入射沉积法制备渐变折射率薄膜的折射率分析

Refractive index analysis of graded index coatings prepared by glancing angle deposition

沈自才 1孔伟金 2刘世杰 1沈建 2邵建达 1范正修2

作者信息

  • 1. 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800
  • 2. 中国科学院研究生院,北京,100039
  • 折叠

摘要

关键词

斜角入射沉积/渐变折射率/填充系数

分类

数理科学

引用本文复制引用

沈自才,孔伟金,刘世杰,沈建,邵建达,范正修..斜角入射沉积法制备渐变折射率薄膜的折射率分析[J].物理学报,2006,55(10):5157-5160,4.

物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

1000-3290

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