人工晶体学报2003，Vol.32Issue(5)：518-523,6.
直流等离子体法中脱膜开裂的金刚石膜组织结构分析
Structural Analysis of Cracked Diamond Films Grown by DC Plasma Jet during Detachment
摘要
关键词
金刚石膜/裂纹/组织/晶面/直流等离子体喷射分类
数理科学引用本文复制引用
陈广超,李成明,张恒大,杨胶溪,佟玉梅,唐伟忠,吕反修..直流等离子体法中脱膜开裂的金刚石膜组织结构分析[J].人工晶体学报,2003,32(5):518-523,6.基金项目
国家"863"计划项目(2002AA305508) （2002AA305508）
北京科技大学专项发展基金(20020424790)资助项目 （20020424790）
