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离子束溅射沉积类金刚石薄膜

丁正明

人工晶体学报Issue(1)：52,1.
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人工晶体学报Issue(1)：52,1.

离子束溅射沉积类金刚石薄膜

丁正明1

作者信息

  • 1. 不详;不详
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摘要

关键词

类金刚石/薄膜/离子束溅射/沉积

分类

数理科学

引用本文复制引用

丁正明..离子束溅射沉积类金刚石薄膜[J].人工晶体学报,1990,(1):52,1.

人工晶体学报

OACSCD

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