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Si3N4绝缘栅中两种表面基对 pH-ISFET 器件敏感特性的影响

牛蒙年 丁辛芳 童勤义

半导体学报Issue(7):522,1.
半导体学报Issue(7):522,1.

Si3N4绝缘栅中两种表面基对 pH-ISFET 器件敏感特性的影响

牛蒙年 1丁辛芳 1童勤义1

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牛蒙年,丁辛芳,童勤义..Si3N4绝缘栅中两种表面基对 pH-ISFET 器件敏感特性的影响[J].半导体学报,1996,(7):522,1.

半导体学报

OA北大核心CSCD

1674-4926

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