硅衬底纳米钛酸钡湿敏元件特性分析OA北大核心CSCDCSTPCD
Property analysis of humidity sensor of nanometer BaTiO3 on Si
以硅片为衬底制作了纳米钛酸钡膜湿敏元件. 用硬脂酸盐法合成纳米钛酸钡材料,丝网印刷法将纳米钛酸钡涂在硅衬底上制成电阻式湿敏元件. 测试分析了元件的性能参数. 结果表明,元件具有较高的灵敏度. 元件阻抗和电容值随测试频率及相对湿度而变化,但基本不随测试电压变化. 在1 V、100 Hz条件下,元件阻抗-相对湿度关系曲线的线性最好. 由不同湿度的复阻抗平面特性曲线得到了材料感湿特性等效电路,讨论了材料的感湿机理. 低湿时,材料本身颗粒电阻和电容及吸附…查看全部>>
王兢;吴英奎;万徽
大连理工大学,电子与信息工程学院,辽宁,大连,116024大连理工大学,电子与信息工程学院,辽宁,大连,116024大连理工大学,电子与信息工程学院,辽宁,大连,116024
信息技术与安全科学
湿敏元件钛酸钡硅衬底特性分析
《大连理工大学学报》 2003 (4)
硅基纳米薄膜湿敏元件阵列研制
522-526,5
国家自然科学基金资助项目(60074031).
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