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光刻机的防死锁调度

何晓晻 吴智铭

微型电脑应用2008，Vol.24Issue(6)：52-54,3.
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微型电脑应用2008，Vol.24Issue(6)：52-54,3.

光刻机的防死锁调度

何晓晻 1吴智铭1

作者信息

  • 1. 上海交通大学自动化系控制理论与控制工程专业,上海 200240
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摘要

关键词

晶圆制造/光刻机/无死锁调度

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

何晓晻,吴智铭..光刻机的防死锁调度[J].微型电脑应用,2008,24(6):52-54,3.

微型电脑应用

OACSTPCD

1007-757X

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