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武汉化工学院学报
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AFM分析磁控溅射法制备的TiO2纳米薄膜
AFM分析磁控溅射法制备的TiO2纳米薄膜
林志东
刘黎明
武汉化工学院学报
2005，Vol.27
Issue(1)：52-55,4.
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武汉化工学院学报
2005，Vol.27
Issue(1)
：52-55,4.
AFM分析磁控溅射法制备的TiO2纳米薄膜
AFM analysis of TiO2 nano-films deposited by magnetron sputtering
林志东
1
刘黎明
1
作者信息
1.
武汉化工学院材料科学与工程学院,湖北,武汉,430074
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摘要
关键词
磁控溅射
/
AFM
/
TiO2薄膜
分类
数理科学
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林志东,刘黎明..AFM分析磁控溅射法制备的TiO2纳米薄膜[J].武汉化工学院学报,2005,27(1):52-55,4.
武汉化工学院学报
ISSN：
1674-2869
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