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微波等离子体化学气相沉积法制备C3N4薄膜的研究

张永平 顾有松 常香荣

真空电子技术Issue(1)：52-55,4.
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真空电子技术Issue(1)：52-55,4.

微波等离子体化学气相沉积法制备C3N4薄膜的研究

张永平 1顾有松 1常香荣1

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摘要

关键词

微波等离子体/化学气相沉积/薄膜

分类

信息技术与安全科学

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张永平,顾有松,常香荣..微波等离子体化学气相沉积法制备C3N4薄膜的研究[J].真空电子技术,2000,(1):52-55,4.

真空电子技术

OACSTPCD

1002-8935

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