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溶胶-凝胶法制备ZnO薄膜及表征

季振国 宋永梁 杨成兴 刘坤 王超 叶志镇

半导体学报2004,Vol.25Issue(1):52-55,4.
半导体学报2004,Vol.25Issue(1):52-55,4.

溶胶-凝胶法制备ZnO薄膜及表征

Characterization of ZnO Thin Film Preparation by Sol-Gel Spinning-Coating

季振国 1宋永梁 1杨成兴 1刘坤 1王超 1叶志镇1

作者信息

  • 1. 浙江大学硅材料国家重点实验室,杭州,310027
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摘要

关键词

ZnO薄膜/光致发光/溶胶-凝胶法/旋涂

分类

数理科学

引用本文复制引用

季振国,宋永梁,杨成兴,刘坤,王超,叶志镇..溶胶-凝胶法制备ZnO薄膜及表征[J].半导体学报,2004,25(1):52-55,4.

基金项目

国家重点基础研究发展规划(No.G20000683)资助项目 (No.G20000683)

半导体学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1674-4926

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