人工晶体学报2003，Vol.32Issue(5)：528-533,6.
提高单晶炉真空密闭性能的探讨
Investigation on the Improvement of the Vacuum and Obturation in Crystal Puller's Chamber
许扬1
作者信息
- 1. 西安理工大学晶体生长设备研究所,西安,710048
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摘要
关键词
单晶炉/真空/奥氏体不锈钢/腐蚀/残余应力分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
许扬..提高单晶炉真空密闭性能的探讨[J].人工晶体学报,2003,32(5):528-533,6.
