电子器件2005，Vol.28Issue(3)：532-535,4.
牺牲层腐蚀平面二维模拟与仿真
Simulation of Sacrificial Layer Etching of 2-D in the Plane
摘要
关键词
牺牲层腐蚀/极坐标腐蚀模型/腐蚀前端浓度/腐蚀速率/计算机仿真分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
李艳辉,李伟华,周再发..牺牲层腐蚀平面二维模拟与仿真[J].电子器件,2005,28(3):532-535,4.基金项目
国家杰出青年科学基金资助课题(50325519) （50325519）
