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离焦和球差效应对高分辨率电镜性能参数的影响

李兴元

沈阳工业大学学报2003,Vol.25Issue(6):533-535,3.
沈阳工业大学学报2003,Vol.25Issue(6):533-535,3.

离焦和球差效应对高分辨率电镜性能参数的影响

Effect of defocus and sphere deviation impacting upon high-resolution electron microscope performance index

李兴元1

作者信息

  • 1. 沈阳工业大学,理学院,辽宁,沈阳,110023
  • 折叠

摘要

关键词

高分辨率电子显微镜/离焦效应/球差效应/分辨率/通带宽度

分类

机械制造

引用本文复制引用

李兴元..离焦和球差效应对高分辨率电镜性能参数的影响[J].沈阳工业大学学报,2003,25(6):533-535,3.

沈阳工业大学学报

OACSTPCD

1000-1646

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