沈阳工业大学学报2003,Vol.25Issue(6):533-535,3.
离焦和球差效应对高分辨率电镜性能参数的影响
Effect of defocus and sphere deviation impacting upon high-resolution electron microscope performance index
李兴元1
作者信息
- 1. 沈阳工业大学,理学院,辽宁,沈阳,110023
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摘要
关键词
高分辨率电子显微镜/离焦效应/球差效应/分辨率/通带宽度分类
机械制造引用本文复制引用
李兴元..离焦和球差效应对高分辨率电镜性能参数的影响[J].沈阳工业大学学报,2003,25(6):533-535,3.