液晶与显示2009，Vol.24Issue(4)：533-536,4.
使用低电阻金属铝制造薄膜晶体管阵列信号电极
Low Resistant Metal for Thin Film Transistors
刘翔 1陈旭 1谢振宇 1高浩然 1王威1
作者信息
- 1. 北京京东方光电科技有限公司,北京,100176
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摘要
关键词
薄膜晶体管/铝/腐蚀/刻蚀分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
刘翔,陈旭,谢振宇,高浩然,王威..使用低电阻金属铝制造薄膜晶体管阵列信号电极[J].液晶与显示,2009,24(4):533-536,4.
