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CVD金刚石膜激光切割工艺研究

王亚 汪建华 王传新 王俊峰

武汉化工学院学报2005,Vol.27Issue(2):53-55,3.
武汉化工学院学报2005,Vol.27Issue(2):53-55,3.

CVD金刚石膜激光切割工艺研究

The research on laser cutting technology of CVD diamond film

王亚 1汪建华 1王传新 1王俊峰1

作者信息

  • 1. 武汉化工学院材料科学与工程学院,湖北,武汉,430074
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摘要

关键词

Nd:YAG激光器/金刚石膜/切割

分类

数理科学

引用本文复制引用

王亚,汪建华,王传新,王俊峰..CVD金刚石膜激光切割工艺研究[J].武汉化工学院学报,2005,27(2):53-55,3.

基金项目

湖北省科技攻关计划(2002A105A02) (2002A105A02)

武汉化工学院学报

1674-2869

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