华中科技大学学报（自然科学版）2006，Vol.34Issue(5)：53-55,67,4.
硅粉在鞘区内的纯化速率模型
Purity rate model for Si particulates in the sheath
摘要
关键词
离子刻蚀/等离子体纯化/阴极鞘层/硅粉粒分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
许淑慧,王敬义,冯信华,陈正强..硅粉在鞘区内的纯化速率模型[J].华中科技大学学报（自然科学版）,2006,34(5):53-55,67,4.基金项目
国家自然科学基金资助项目(10265002). （10265002）
