材料工程Issue(1)：53-57,5.
Ge1-xCx薄膜的制备及红外特性的研究
Preparation of Ge1-xCx Thin Film and Its Infrared Properties
摘要
关键词
Ge1-xCx薄膜/PECVD/红外特性/沉积速率分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
吴小文,张维佳,钟立志,黄浩..Ge1-xCx薄膜的制备及红外特性的研究[J].材料工程,2005,(1):53-57,5.基金项目
航空基金(02D51066) （02D51066）
