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Al2O3绝缘栅AlGaN/GaN MOS-HEMT器件温度特性研究

刘林杰 岳远征 张进城 马晓华 董作典 郝跃

物理学报2009,Vol.58Issue(1):536-540,5.
物理学报2009,Vol.58Issue(1):536-540,5.

Al2O3绝缘栅AlGaN/GaN MOS-HEMT器件温度特性研究

Temperature characteristics of AlGaN/GaN MOS-H EMT with A12O3 gate dielectric

刘林杰 1岳远征 1张进城 1马晓华 1董作典 1郝跃1

作者信息

  • 1. 西安电子科技大学,宽禁带半导体材料与器件重点实验室,西安,710071
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摘要

关键词

原子层淀积/AlGaN/GaN/MOS-HEMT器件/温度特性

分类

数理科学

引用本文复制引用

刘林杰,岳远征,张进城,马晓华,董作典,郝跃..Al2O3绝缘栅AlGaN/GaN MOS-HEMT器件温度特性研究[J].物理学报,2009,58(1):536-540,5.

基金项目

国家自然科学基金(批准号:60736033,60676048)资助的课题. (批准号:60736033,60676048)

物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-3290

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