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非均匀掺杂衬底MOS结构少子产生寿命的测量

黄庆安 史保华 顾英 张德胜

半导体学报Issue(7):538,1.
半导体学报Issue(7):538,1.

非均匀掺杂衬底MOS结构少子产生寿命的测量

黄庆安 1史保华 1顾英 1张德胜1

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摘要

关键词

衬底/掺杂/MOS电容/少子/产生寿命

分类

信息技术与安全科学

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黄庆安,史保华,顾英,张德胜..非均匀掺杂衬底MOS结构少子产生寿命的测量[J].半导体学报,1989,(7):538,1.

半导体学报

OACSCD

1674-4926

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