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预非晶化硅中注入硼的异常扩散

鲍希茂 华雪梅

半导体学报Issue(7)：539,1.
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半导体学报Issue(7)：539,1.

预非晶化硅中注入硼的异常扩散

鲍希茂 1华雪梅1

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摘要

关键词

非晶硅/离子注入/硼/异常扩散

分类

信息技术与安全科学

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鲍希茂,华雪梅..预非晶化硅中注入硼的异常扩散[J].半导体学报,1990,(7):539,1.

半导体学报

OACSCD

1674-4926

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