北京科技大学学报2000，Vol.22Issue(6)：539-542,4.
大规模集成电路导电薄膜的织构效应
Texture Effect of Interconnection Thin Films in Very Large-Scale Integrated Electronic Circuits
毛卫民 1张弘2
作者信息
- 1. 北京科技大学材料科学与工程学院,北京,100083
- 2. 应用材料公司,美国加州 95054
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摘要
关键词
铝薄膜/面织构/内应力/内联导分类
通用工业技术引用本文复制引用
毛卫民,张弘..大规模集成电路导电薄膜的织构效应[J].北京科技大学学报,2000,22(6):539-542,4.
