无机材料学报2008，Vol.23Issue(3)：540-544,5.
氢流量对纳米SiC薄膜微结构和光学特性的影响
Effect of H2 Flow Rate on Microstructure and Optical Property of Nanocrystalline SiC Films
摘要
关键词
纳米碳化硅/氢气流量/微观结构/光学特性分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
于威,杜洁,张丽,崔双魁,路万兵,傅广生..氢流量对纳米SiC薄膜微结构和光学特性的影响[J].无机材料学报,2008,23(3):540-544,5.基金项目
河北省自然科学基金(E2006000999) （E2006000999）
