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表面处理对p-GaN欧姆接触特性的影响

半导体学报2007,Vol.28Issue(z1):545-547,3.
半导体学报2007,Vol.28Issue(z1):545-547,3.

表面处理对p-GaN欧姆接触特性的影响

Effect of Surface Treatment on p-GaN Ohmic Contact Property

摘要

关键词

王水/p-GaN/Ni/Au/XPS/比接触电阻率

分类

信息技术与安全科学

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..表面处理对p-GaN欧姆接触特性的影响[J].半导体学报,2007,28(z1):545-547,3.

基金项目

高功率半导体激光器国家重点实验室基金资助项目(批准号:51456020205ZK0301) (批准号:51456020205ZK0301)

半导体学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1674-4926

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