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机械与电子
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基于AFM的Si纳米结构的加工
基于AFM的Si纳米结构的加工
吴雄喜
杨林军
机械与电子
Issue(4)：54-56,3.
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机械与电子
Issue(4)
：54-56,3.
基于AFM的Si纳米结构的加工
Si Nanofabrication by AFM
吴雄喜
1
杨林军
1
作者信息
1.
浙江工业大学,浙江,杭州,310014
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摘要
关键词
纳米加工
/
硅纳米结构
/
原子力显微镜
/
阳极氧化
分类
机械制造
引用本文
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吴雄喜,杨林军..基于AFM的Si纳米结构的加工[J].机械与电子,2005,(4):54-56,3.
基金项目
浙江省自然科学基金(501096) （501096）
机械与电子
ISSN：
1001-2257
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