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基于MAP与POCS混合算法的微内腔尺寸测量方法

崔继文 谭久彬 刘丹丹

计量学报2006,Vol.27Issue(z1):54-57,4.
计量学报2006,Vol.27Issue(z1):54-57,4.

基于MAP与POCS混合算法的微内腔尺寸测量方法

Micro-inner-cavity Measurement Method Based on MAP/POCS Hybrid Algorithm

崔继文 1谭久彬 1刘丹丹1

作者信息

  • 1. 哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所,黑龙江,哈尔滨,150001
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摘要

关键词

计量学/微内腔尺寸测量/MAP/POCS混合算法/收敛性

分类

机械制造

引用本文复制引用

崔继文,谭久彬,刘丹丹..基于MAP与POCS混合算法的微内腔尺寸测量方法[J].计量学报,2006,27(z1):54-57,4.

计量学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-1158

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