高技术通讯2008，Vol.18Issue(1)：54-58,5.
基于压电扫描管动态特性分析的AFM成像方法研究
An AFM imaging method based on analysis of piezo-scanner's dynamic characteristic
摘要
关键词
原子力显微镜/成像技术/压电扫描管/动态特性分类
通用工业技术引用本文复制引用
董晓坤,方勇纯,周娴玮,张玉东..基于压电扫描管动态特性分析的AFM成像方法研究[J].高技术通讯,2008,18(1):54-58,5.基金项目
国家自然科学基金(60574027)、天津市应用基础研究计划(07JCYBJC05400)和新世纪优秀人才支持计划(NCET-06-0210).资助项目. （60574027）
