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远紫外无显影光刻的催化剂及工艺探讨

韩阶平 侯豪情

半导体学报Issue(7)：546,1.
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半导体学报Issue(7)：546,1.

远紫外无显影光刻的催化剂及工艺探讨

韩阶平 1侯豪情1

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摘要

关键词

远紫外/无显影/光刻/催化剂/工艺

分类

信息技术与安全科学

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韩阶平,侯豪情..远紫外无显影光刻的催化剂及工艺探讨[J].半导体学报,1990,(7):546,1.

半导体学报

OACSCD

1674-4926

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