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多光束激光外差高精度测量玻璃厚度的方法

李彦超 章亮 杨彦玲 高龙 徐博 王春晖

物理学报2009,Vol.58Issue(8):5473-5478,6.
物理学报2009,Vol.58Issue(8):5473-5478,6.

多光束激光外差高精度测量玻璃厚度的方法

The method for multi-beam laser heterodyne high-precision measurement of the glass thickness

李彦超 1章亮 1杨彦玲 1高龙 1徐博 1王春晖1

作者信息

  • 1. 哈尔滨工业大学光电子技术研究所,可调谐激光技术国家级重点实验室,哈尔滨,150001
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摘要

关键词

外差探测/多光束激光外差/激光多普勒技术/非接触式测量

分类

数理科学

引用本文复制引用

李彦超,章亮,杨彦玲,高龙,徐博,王春晖..多光束激光外差高精度测量玻璃厚度的方法[J].物理学报,2009,58(8):5473-5478,6.

基金项目

国家自然科学基金(批准号:60577032)资助的课题. (批准号:60577032)

物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

1000-3290

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