物理学报2009,Vol.58Issue(8):5473-5478,6.
多光束激光外差高精度测量玻璃厚度的方法
The method for multi-beam laser heterodyne high-precision measurement of the glass thickness
摘要
关键词
外差探测/多光束激光外差/激光多普勒技术/非接触式测量分类
数理科学引用本文复制引用
李彦超,章亮,杨彦玲,高龙,徐博,王春晖..多光束激光外差高精度测量玻璃厚度的方法[J].物理学报,2009,58(8):5473-5478,6.基金项目
国家自然科学基金(批准号:60577032)资助的课题. (批准号:60577032)