半导体学报2005，Vol.26Issue(3)：547-553,7.
带有静电自检测功能的高灵敏度加速度传感器
High Performance Accelerometers with Advanced Bulk Micromachining Technology
程保罗 1李昕欣 2王跃林 1焦继伟 1车录锋 1杨恒 1戈肖鸿 1宋朝晖1
作者信息
- 1. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点联合实验室,上海,200050
- 2. 浙江大学信息与电子工程学系,杭州 310027
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摘要
关键词
微机电系统/加速度传感器/自检功能/静电驱动/侧壁扩散/绝缘工艺分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
程保罗,李昕欣,王跃林,焦继伟,车录锋,杨恒,戈肖鸿,宋朝晖..带有静电自检测功能的高灵敏度加速度传感器[J].半导体学报,2005,26(3):547-553,7.
